l由于等离子每秒只能穿透几个纳米的厚度,所以污染层不能太厚。我们在清洗脏污比较严重的物料时，在等离子清洗的前面会增加空气超声波清洗
l超声波作用于空气时，同样会产生类似于液体中的空化核，不过由于空气的密度很低，也没有相当于液体一样的张力，所以会很快被破坏。简而言之，就是传送的距离相当短。但在合适的距离内，含有超声波能量（空化核）的空气接触到物料表面时，会对物料表面的脏污进行有力的爆破和冲击，从而达到干式清洗的目的。
l空气超声波清洗可应用于LCD、LED、IC、PCB、SMT、BGA、引线框架、平板显示器等工件表面平滑的工件清洗。由于超声波的能量充沛，爆破和冲击力大，对相对一定厚度的脏污能有效的清洗，我们一般把它作为等离子清洗的预清洗。